發(fā)布時(shí)間: 2022-01-05 09:01:30 來源:捷螺系統(tǒng)
半導(dǎo)體晶圓制造廠內(nèi)AMHS（ 自動(dòng)物料搬送系統(tǒng) - AMHS Automatic Material Handling System）的搬送一般分為Interbay和Intrabay。
捷螺系統(tǒng)針對(duì)AMHS通過AMR機(jī)器人來解決整廠的物料傳輸，即晶圓純運(yùn)輸機(jī)器人負(fù)責(zé)Interbay，作為工序區(qū)間搬送系統(tǒng)；復(fù)合型手臂機(jī)器人負(fù)責(zé)Intrabay傳輸及對(duì)接機(jī)臺(tái)作業(yè)。兩者可相互對(duì)接協(xié)作，應(yīng)用于工序區(qū)間或工廠間運(yùn)輸。更加全面實(shí)現(xiàn)全廠物料自動(dòng)搬運(yùn)。
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